Þegar alheims hálfleiðaraferlið færist í átt að háþróaðri hnútum 3nm/2nm, eru nákvæm títanefni (ASTM B265/B348, gráðu 1/2/5 há-hreinleika títan og títan málmblöndur) að uppfæra úr „hjálparefnum“ í mikilvæg stefnumótandi efni fyrir hálfleiðaraframleiðslu, svo sem{8} hreinleiki, ofur-lítil óhreinindi, sterkur hitastöðugleiki, tæringarþol og ekki-segulmagnaðir eiginleikar. Athygli markaðarins og eftirspurn eykst samfellt.
Kjarnarekill: Háþróaðir ferlar knýja fram efnisuppfærslur
Háþróuð hálfleiðaraferli (5nm og lægri) krefjast þriggja helstu harðkjarnakröfur fyrir efni: nákvæmni á nanómetrastigi, hreinleika atómstigs og mikilli umhverfisstöðugleika:
-Títanmarkefni með miklum hreinleika (1. gæða, hreinleiki meira en eða jafnt og 99,999%/5N): PVD sputtering kjarnaefni, notað fyrir kopar samtengja hindrunarlag, snertistappa, til að koma í veg fyrir að koparatómdreifing mengi kísilskífur, sem ákvarðar beint flísafraksturinn og afkastagetu 130-n3.
-Nákvæmni byggingarhlutar (2/5 stig): vinnuborð steinþurrkavélar, ætingarvélarhólf, lofttæmiflans, vélfæraarmur o.s.frv., með lágum varmaþenslustuðli (8,6 × 10 ⁻⁶/gráðu) og aflögun hitastigssveiflu sem nemur aðeins 1/3 af nákvæmni, allt að lýsingu, sem lýkur.
-Tæringarþolnir íhlutir (7. flokkur): Þolir sterka sýru/halógen tæringu í blautætingar- og hreinsibúnaði, án málmútfellingarmengunar, hentugur fyrir mikið lofttæmi og sterk plasma við erfiðar vinnuaðstæður.
Kjarnakostir amerískra staðlaðra títanefna
1. Ofurhreinleiki+of-lítil óhreinindi: Amerískur staðall 1. stigs há-títan með stýranlegum súrefnis-/köfnunarefnis-/kolefnisóhreinindum<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Varmastöðugleiki+víddarnákvæmni: lág hitaleiðni (21,9W/(m · K)), lítill varmaþenslustuðull, þol allt að ± 0,005 mm, yfirborðssléttleiki Ra Minna en eða jafnt og 0,4 μm, hentugur fyrir samsetningu á nanóskala og lofttæmiþéttingu.
3. Tæringarþol+ekki-segulmagnuð+lítil gaslosun: náttúrulegt oxíðlag sjálf-græðandi, ónæmt fyrir Cl ₂/F ₂/sterka sýru tæringu; Ekki segulmagnaðir og truflar ekki nákvæmni hringrásir; Loftlosunarhraði er afar lágur við ofur-háu lofttæmi (UHV), sem tryggir hreinleika hólfsins.
4. Léttur og hár styrkur: Þéttleiki 4,51g/cm ³ (40% léttari en ryðfríu stáli), 5. stigs togstyrkur Stærri en eða jafn og 930MPa, sértækur styrkur tvöfaldur á við ryðfríu stáli, hentugur fyrir léttar kröfur um háhraða hreyfihluti.
Atburðarás kjarnaforrita
-Hátthreint títanmarkefni (1. stig): PVD sputtering útfelling, notað fyrir rök-/geymsluflís hindrunarlag og límlag, með alþjóðlega markaðsstærð upp á 1,87 milljarða Bandaríkjadala árið 2024 og CAGR upp á 9,3% frá 2026 til 2030.
-Tómarúmhólf/flans (2. stig): Tómarúmskerfi fyrir ætingar- og útfellingarbúnað, ónæmt fyrir háþrýstingi, lítilli gaslosun og áreiðanlega þéttingu.
-Nákvæmni vélfæraarmur/endavirki (stig 5): oblátaflutningur, léttur og mikill-styrkur, nákvæm staðsetning og engin agnalosun.
-Tæringarþolið fóður/festing (7. flokkur): Blautur vinnslubúnaður, ónæmur fyrir sterkum sýrum eins og HF/HCl, lengir endingu búnaðar og dregur úr viðhaldskostnaði.
Markaðsþróun: innlend staðgengil+tæknibylting
Stækkun á getu hálfleiðara á heimsvísu (sérstaklega á kínverska meginlandi) hefur knúið hraðan vöxt í eftirspurn eftir nákvæmum títanefnum. Árið 2023 mun markaðsstærð títan nákvæmnishluta Kína fyrir hálfleiðara fara yfir 3 milljarða júana, með árlegri vexti meira en 25%. Stöðug fjöldaframleiðsla á amerískum stöðluðum 1/2/5 nákvæmni títanefnum (þar á meðal 0,05 mm ofur-þunn títanpappír, há-markefnaefni og nákvæmar byggingarhlutar) hefur náðst, þar sem umburðarlyndi og hreinleiki hafa náð alþjóðlegum háþróaðri stigum, sem hjálpar hálfleiðaraiðnaðinum að vera óháður stjórnandi.
Undir háþróuðum ferlum og innlendum staðgöngu tvíhjóladrifs hafa nákvæm títanefni sem uppfylla bandaríska staðla orðið kjarnastuðningur við uppfærslu á hálfleiðaraiðnaði. Í framtíðinni munu þeir halda áfram að slá í gegn í átt að meiri hreinleika (6N), þynnri forskriftum (Minna en eða jafnt og 0,05 mm) og nákvæmari vinnslu (± 0,002 mm).
Óska eftir tilboði
Netfang:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
